听·见中国式现代化③ ｜“面对‘卡脖子’，一定要国产化！”

【▲听习近平总书记原声】

编者按

党的二十大擘画了以中国式现代化推进中华民族伟大复兴的宏伟蓝图。听，声音铿锵；见，画卷舒展。泰州广播电视台推出大型融媒体集成报道“听·见中国式现代化” ，记录凝心聚力、同心筑梦，奔赴中国式现代化的生动实践和美丽图景。今天一起走近江苏先锋精密科技股份有限公司的研发部经理贾坤良。

半导体芯片是信息化时代的基石，也是当今尖端制造的制高点。半导体精密零部件研发制造不仅是半导体芯片制造设备中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业被“卡脖子”的环节之一。作为江苏先锋精密科技股份有限公司研发部经理的贾坤良，多年来秉承工匠精神，深耕专业领域，为半导体产业链国产化贡献了自己的力量。

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日行千里

为客户的国产化需求竭尽全力

一上班，贾坤良就来到生产车间查看为客户定制的高温晶圆加热器生产情况，这款加热器是先锋精密自主研发的新品，贾坤良非常关心产品的参数、质量情况。正是因为这种认真劲，他在任职期间参与公司产品技术研发并获得授权专利 14 项，有力推动了知识和科技成果转化为实际生产力。

2011年左右，国内某半导体企业寻求合作开发厂家。但因为国产化这个零部件投入巨大，难度也很高，国内很多企业都拒绝了。

当时的先锋虽然也缺乏相关的先进设备和焊接技术，但为了助力半导体行业的国产化，也为了先锋日后的发展，公司负责人还是接下了这份订单，并安排贾坤良来负责完成合作。

【贾坤良：这些产品一定要实现国产化】

因为客户需要的零部件是不常用的陶瓷材质，而陶瓷焊接设备短时间内无法购买，贾坤良便只能带着生产出的零部件多次自驾去苏州、上海的外协厂商进行焊接。

为了加快交付进度，确保项目节点，有一个多月的时间，贾坤良几乎每天都在靖江和苏州、上海的外协厂商之间来回穿梭，凌晨四五点出发，深夜十一二点才能回来，而回来之后也不能休息，必须立刻对焊接好的零部件进行检测。

就这样，不到一年时间，客户要求的首批产品就试制成功，经过对比测试，性能与国外产品相当，达到使用要求，如今早已实现了量产。

从“中国制造”到“中国智造”

虽然仿制成功，但贾坤良并不满足。因为他认为，面对半导体设备零部件被国外企业“卡脖子”，唯有不断研发创新才能实现半导体装备关键零部件的国产化替代，才能提升半导体产业链、供应链韧性和安全水平。

因为之前先锋的半导体设备核心零部件大部分依赖进口，2015年，贾坤良就遇到过被外国企业以小制大“卡脖子”的事情。

【贾坤良：忍痛购买外国产品，价格翻番】

面对这样的情况，不服输的贾坤良潜心研究，以全新视角系统、全面剖析问题，找到直接原因，更低成本、高效益地解决问题。2016年末，这个曾经不得不高价进口的核心部件就实现了量产，产品价格也从原先进口的4万美元/台（套）降至1.5万美元/台（套）。

在攻克高均匀性晶圆加热器难题时，贾坤良更是灵活运用 TRIZ 创新理论，解决了晶圆加热器高温时的热平衡和均匀性问题，该项目获得了2021年中国创新方法大赛江苏赛区决赛二等奖。

匠心淬炼

成品率70%→99%

喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件。在央视2018年推出的大型纪录片《大国重器》中，有这样一组镜头，一个直径近半米的喷淋盘上，均匀地分布着超1000个细小的圆孔，反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体，在射频作用下形成均匀分布的等离子体。这块喷淋盘就是由先锋研发生产，成为首批国产7纳米等离子刻蚀机的核心部件。